Cua Sov Kub Thiab Kub Nitrogen Cua Kub

Cua Sov Kub Thiab Kub Nitrogen Cua Kub

Lub tshuab nqus tsev muaj peev xwm ua tau ncaj qha raug rau ntau cov roj av los ntawm cov cuab yeej cuab tam. Los ntawm kev qhia txog cov roj inert xws li nitrogen ntawm kev tswj kub thiab ntws tawm ntawm cov tshuaj tiv thaiv kub, uas yuav ua rau cupproduct bluup nyob rau hauv kab, txuag lub sijhawm txij nkawm thiab kim cuab yeej downtime.
Xa kev nug
Tsham tam sim no

Khoom Piav Qhia

 

Cua Sov Kub Thiab Kub Nitrogen Cua Kub

Lub tshuab nqus tsev muaj peev xwm ua tau ncaj qha raug rau ntau cov roj av los ntawm cov cuab yeej cuab tam. Los ntawm kev qhia txog cov roj inert xws li nitrogen ntawm kev tswj kub thiab ntws tawm ntawm cov tshuaj tiv thaiv kub, uas yuav ua rau cupproduct bluup nyob rau hauv kab, txuag lub sijhawm txij nkawm thiab kim cuab yeej downtime. Feem ntau ntawm LPCvd, hlau etch, CVD, Pecvd, FPD thiab Ald cov neeg siv tau txiaj ntsig los ntawm kev siv kub ua kom txo tau cov txheej txheem.

1

 

Kev kub siab thiab kub siab thiab kub nitrogen cua sov yog tsim rau kev lag luam hauv cov ntawv thov feem ntau. Peb cov qauv tsav tsheb rhaub cov qauv siv pab koj txo qhov loj me, qhov hnyav thiab nqi ntawm koj cov cuab yeej lossis cov txheej txheem. Los ntawm ultra-ntshiab ptfe tso cua sov kom muaj cov txheej txheem tso cua sov, infinity muaj cov cuab yeej zoo ntawm tus nqi qis. Yog tias cov qauv khoom lag luam tsis haum, peb cov kev tsim qauv hloov tau tseem pub koj tsim lub rhaub uas zoo tshaj plaws rau koj daim ntawv thov.

Cov roj kub tswj hluav taws xob ncaj qha tiv thaiv cov roj kub hauv lub chamber lossis cov yeeb nkab, tsis muaj lub sijhawm kub kub uas cuam tshuam nrog cov khaub ncaws Rhaub thiab cov cartridge tso cua sov. Cov pa roj muaj txiaj ntsig zoo thiab dilution ntawm cov pa nitrogen gas muaj cov nyhuv tam sim thiab siab tshaj plaws. Cov roj kub kub tshem tawm sab hauv cov hws hws, cov pob txias, thiab khaws cia kub kub.

Cov roj kub tswj hluav taws xob ncaj qha tiv thaiv cov roj kub hauv lub chamber lossis cov yeeb nkab, tsis muaj lub sijhawm kub kub uas cuam tshuam nrog cov khaub ncaws Rhaub thiab cov cartridge tso cua sov. Cov pa roj muaj txiaj ntsig zoo thiab dilution ntawm cov pa nitrogen gas muaj cov nyhuv tam sim thiab siab tshaj plaws. Cov roj kub kub tshem tawm sab hauv cov hws hws, cov pob txias, thiab khaws cia kub kub.

Rau txhua daim ntawv thov uas yuav tsum tau tsim kho kom huv rau chav kawm, tsev muag tshuaj thiab semiconductor ntau lawm.

 

12

 

Tso kab

 

Kub N2 tuaj yeem khaws cov yeeb nkab tag nrho hauv temp siab kom tiv thaiv cov khoom lag luam hauv cov yeeb nkab

01

Dilute N2

02

Kub N2 tuaj yeem khaws cov tshuaj n2 ntawm cov temp siab kom tiv thaiv kom tsis txhob muaj dej nyob ib puag ncig N2 Inlet

03

Inlet ntawm Scrubber

04

Tiv thaiv cov hmoov ua kom zoo ntawm inlet ntawm cov txhuam hniav

05

5
Kub N2 Rhaub
6
Kub N2 Rhaub & VT N2 Swirl Muab Chav
7
VT N2 Swirl Muab Chav

Peb Daim Ntawv Pov Thawj

 

9
10
11

 

Cim npe nrov: Kev kub siab thiab kub nitrogen cua sov, Tuam Tshoj siab siab thiab kub Nitrogen cov khoom siv cua sov, lwm tus neeg, Hoobkas

Tug:Tsis muaj

Xa kev nug